Ємнісні датчики

capaNCDT 6500

Ідеально підходить для високоточних багатоканальних вимірювань

Діапазон вимірювань: 0,05 – 10 мм
Роздільна здатність: 0,0000375 мкм
Частотна характеристика: 8,5 кГц

Ємнісна багатоканальна система для максимальної роздільної здатності

Завантажити

Ємнісні датчики переміщення призначені для вимірювальних задач, що вимагають надзвичайно високої точності. Ємнісна багатоканальна система capaNCDT 6500 ідеально підходить для надійних вимірювань з субнанометровою роздільною здатністю. Контролер пропонує максимальну частоту відгуку 7,8 кГц (цифровий, до чотирьох каналів) або частотну характеристику 8,5 кГц. Крім аналогового виходу, також доступний інтерфейс EtherCAT. EtherCAT забезпечує точну передачу даних в реальному часі, високошвидкісну інтеграцію в існуюче вимірювальне середовище і синхронізацію двох систем. Налаштування та конфігурація системи capaNCDT 6500 легко здійснюється за допомогою веб-браузера.

Характеристики

Діапазони вимірювання (мм): 0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
Роздільна здатність макс. 0,0375 нм
Лінійність макс. 0,01 мкм
Частотна характеристика 8,5 кГц (-3 дБ)
Швидкість передачі даних (цифровий вихід) 7,8 кГц
Аналоговий вихід (напруга / струм)
Ethernet, EtherCAT
Модульний – до 8 каналів
Зовнішній або внутрішній передпідсилювач
Зручне налаштування та конфігурація через веб-інтерфейс

Максимальна роздільна здатність

Система capaNCDT 6500 призначена для вимірювань, що вимагають субнанометрової роздільної здатності. Її сильні сторони особливо добре проявляються в задачах позиціонування в напівпровідниковій промисловості і лабораторних застосуваннях. Модульна система capaNCDT 6500 призначена для багатоканальних застосувань. До восьми датчиків можна підключити через попередній підсилювач до електроніки формування сигналу.

Гнучка багатоканальна система

Вимірювальна система складається з контролера з вбудованим дисплеєм і одного демодулятора на датчик, які об'єднані в стійку. Дві доступні стійки контролера пропонують місце для 2 або до 8 демодуляторів. Доступний потужний демодулятор, який, залежно від застосування, може працювати з інтегрованим або виносним підсилювачем. Обидві версії сумісні з усіма моделями датчиків Micro-Epsilon.

Простота використання через веб-інтерфейс

Завдяки зручному веб-інтерфейсу весь процес конфігурації контролера і датчиків здійснюється без використання додаткового програмного забезпечення. Доступ до веб-інтерфейсу здійснюється через Ethernet і надає можливості налаштування та конфігурації фільтрів, арифметичних зв'язків та інших корисних параметрів, таких як спрацьовування, зберігання результатів вимірювань та лінеаризація.

Документ	Мова
Data sheet capaNCDT 6500	English
Catalog capaNCDT (Capacitive displacement sensors and systems)	English

Ємнісний контролер з субнанометровою роздільною здатністю - контролер capaNCDT 6530

Характеристики

- Динамічна роздільна здатність 0,002 % FSO (8,5 кГц)
- Частотна характеристика 8,5 кГц (-3 дБ) (перемикається 20 Гц; 1 кГц; 8,5 кГц)
- Аналоговий вихід 0...10В (захист від короткого замикання), 4...20мА; 0...20мА
- Цифровий інтерфейс Ethernet 24 Bit; EtherCAT
- Спеціальна настройка: до чотириразового збільшення стандартної довжини кабелю

Монтажна рама для двостороннього вимірювання товщини MA-CS-3 / MA-CS-2-C

Характеристики:

- Багатоколійне вимірювання товщини до 3 точок одночасно
- Висока температурна стабільність для точних вимірювань при температурах до 100 °C
- Придатний для вакууму
- Надзвичайно компактна конструкція
- Легка інтеграція і модернізація в існуючі системи

Детальніше

Монтажна рамка призначена для використання з ємнісними датчиками для двостороннього вимірювання товщини і допомагає вирівняти між собою точки вимірювання. Рама дозволяє датчикам лежати точно на одній осі, що означає, що точки вимірювання розташовані конгруентно. Це запобігає вимірюванням зі зміщенням, а надійний результат вимірювань досягається з максимально можливою точністю. Монтажні рами забезпечують місце для розміщення до 6 датчиків. Два датчики утворюють одну точку вимірювання.

Детальніше