Зв'язатися
interferoMETER 5600-DS | Anwit
interferoMETER 5600-DS | Anwit
Інтерферометри (біле світло)

interferoMETER 5600-DS

Інтерферометр білого світла для абсолютного вимірювання відстаней з субнанометровою роздільною здатністю

Опис
Завантажити

Новий інтерферометр білого світла IMS5600-DS використовується для вимірювання відстаней з найвищою точністю. Контролер пропонує спеціальне калібрування з інтелектуальною оцінкою і дозволяє проводити абсолютні вимірювання з субнанометровою роздільною здатністю. Інтерферометр використовується для вимірювальних задач з найвищими вимогами до точності, наприклад, в електроніці та напівпровідниковому виробництві.


Характеристики

  • Вимірювання відстані з субнанометровою точністю
  • Найкращий у своєму класі: Роздільна здатність 30 пікометрів
  • Абсолютне вимірювання, підходить для ступінчастих профілів
  • Компактні і міцні датчики з великою відстанню зміщення
  • Частота вимірювання до 6 кГц для високошвидкісних вимірювань
  • Проста конфігурація через веб-інтерфейс
  • Датчики та кабелі, придатні для вакууму
  • Компактні датчики з кутом променя 90° також
  • Гнучка промислова інтеграція для швидкої адаптації на місці


Anwit

Система IMS5600-DS використовується для високоточних вимірювань переміщень і відстаней. Система забезпечує абсолютні значення вимірювань і тому може також використовуватися для вимірювання відстаней у профілях сходинок. Завдяки абсолютному вимірюванню сходинки дискретизуються з високою стабільністю сигналу. При вимірюванні на рухомих об'єктах, таким чином, можна надійно виявити різницю у висоті підборів, сходинок і заглиблень. Вимірювальна система забезпечує субнанометрову роздільну здатність з великою відстанню зміщення по відношенню до діапазону вимірювання.

Anwit

Багатопікове вимірювання відстані

Багатопікове вимірювання відстані на прозорих об'єктах дозволяє одночасно оцінювати до 14 значень відстані. Наприклад, можна визначити відстань між склом і несучою пластиною. Потім контролер може розрахувати товщину скла на основі значень відстані.

Anwit

Призначені для вимірювання відстаней з високою роздільною здатністю у вакуумі

Інтерферометри IMS5600-DS можна використовувати для вимірювальних задач у вакуумних середовищах і чистих приміщеннях, де інтерферометри досягають роздільної здатності в субнанометровому діапазоні. Для вакуумних застосувань Micro-Epsilon пропонує спеціальні датчики, кабелі та прохідні аксесуари. Ці датчики і кабелі практично не містять частинок і можуть використовуватися як в чистих приміщеннях, так і в надвисокочастотному діапазоні.

Стабільні вимірювання відстані з найвищою точністю

Контролер може бути встановлений в шафу керування за допомогою монтажу на DIN-рейку і забезпечує дуже стабільні результати вимірювань завдяки активній температурній компенсації та пасивному охолодженню. Ці компактні датчики надзвичайно компактні і мають дуже гнучкі оптоволоконні кабелі. Довжина кабелю до 10 м дозволяє просторово рознести датчик і контролер. Датчик можна легко і швидко вирівняти завдяки вбудованому пілотному лазеру. Введення в експлуатацію та параметризація зручно виконуються через веб-інтерфейс і не вимагають встановлення програмного забезпечення.

Anwit

Вимірювання на декількох поверхнях

Інтерферометричний метод вимірювання дозволяє проводити вимірювання на багатьох поверхнях. Це дозволяє проводити високоточні вимірювання відстаней на відбиваючих металах, пластиках і склі.

Anwit

Датчики з кутом променя 90° також

Завдяки компактним розмірам ці датчики можна інтегрувати навіть в обмеженому просторі. Зокрема, моделі з 90° променем потребують значно менше місця для встановлення.

Модель Діапазон вимірювань / Початок діапазону вимірювання Лінійність Кількість вимірюваних прошарків Сфери застосування

IMS5600-DS0,5/90/VAC

1,5 мм /прибл. 0,5 мм

-

Високоточне вимірювання відстані в умовах чистого приміщення і вакууму, наприклад, вимірювання на пластинах з покриттям.
Немагнітний титановий варіант UHV дозволяє використовувати в сильних магнітних полях, наприклад, в медичній техніці (ядерне розщеплення або електронно-променевий мікроскоп)

IMS5600-DS10/90/VAC

1,5 мм / 10 мм

-

Високоточне вимірювання відстані в умовах чистого приміщення і вакууму, наприклад, вимірювання на пластинах з покриттям.
Немагнітний титановий варіант UHV дозволяє використовувати в сильних магнітних полях, наприклад, в медичній техніці (ядерне розщеплення або електронно-променевий мікроскоп)

IMS5600-DS19

2,1 мм / прибл. 19 мм

-

Високоточні вимірювання відстаней у промислових процесах, наприклад, у прецизійному виробництві

IMS5600-DS19/VAC

2,1 мм / прибл. 19 мм

-

Точне позиціонування та вимірювання відстаней у чистих приміщеннях і вакуумі, наприклад, у виробництві дисплеїв для позиціонування масок

IMS5600MP-DS19

Вимірювання відстані:
2,1 мм / прибл. 19 мм
Вимірювання товщини:
0,01 ... 1,3 мм (для BK7, n=1,5) / прибл. 19 мм

До 13 шарів

Високоточні вимірювання відстані та товщини в промислових процесах, наприклад, у виробництві напівпровідників для визначення товщини шарів на пластинах або у виробництві світлодіодів

IMS5600MP-DS19/VAC

Вимірювання відстані:
2,1 мм / прибл. 19 мм
Вимірювання товщини:
0,01 ... 1,3 мм (для BK7, n=1,5) / прибл. 19 мм

До 13 шарів

Високоточні вимірювання відстаней і товщини в умовах чистого приміщення і вакууму, наприклад, у виробництві напівпровідників для вимірювання положення і розмірів зазорів на масках і підкладках