Зв'язатися
interferoMETER IMS5400-DS | Anwit
interferoMETER IMS5400-DS | Anwit
Інтерферометри (біле світло)

interferoMETER IMS5400-DS

Абсолютне вимірювання відстані з нанометровою точністю

Інтерферометр білого світла для абсолютного вимірювання відстані з нанометровою точністю

Опис
Завантажити

Новий інтерферометр білого світла IMS5400-DS відкриває нові перспективи в промисловому вимірюванні відстаней. Контролер має інтелектуальну функцію оцінки і дозволяє проводити абсолютні вимірювання з нанометровою точністю при відносно великій відстані зміщення. У порівнянні з іншими оптичними системами для абсолютних вимірювань, IMS5400-DS пропонує неперевершене поєднання точності, діапазону вимірювань і відстані зміщення.


Характеристики

  • Нанометрична точність, абсолютні вимірювання відстаней, підходить для ступінчастих профілів
  • Багатопікове вимірювання відстані до прозорих об’єктів
  • Компактні та міцні датчики з великою відстанню зміщення
  • Частота вимірювання до 6 кГц для високошвидкісних вимірювань
  • Надійний контролер з пасивним охолодженням
  • Проста конфігурація через веб-інтерфейс
  • Компактні датчики також з траєкторією променя 90°
  • Гнучка промислова інтеграція для швидкої адаптації на місці


Anwit

Абсолютне вимірювання відстані з нанометровою роздільною здатністю

IMS5400-DS використовується для високоточних вимірювань переміщень і відстаней. На відміну від звичайних інтерферометрів, IMS5400-DS також дозволяє стабільно вимірювати профілі сходинок. Завдяки абсолютному вимірюванню сканування сходинок виконується з високою стабільністю і точністю сигналу. Таким чином, при вимірюванні на рухомих об'єктах можна надійно виявити різницю у висоті підборів, сходинок і заглиблень.

Anwit

Багатопікове вимірювання відстані

Багатопікове вимірювання відстані на прозорих об'єктах дозволяє одночасно оцінювати до 14 значень відстані. Наприклад, можна визначити відстань між склом і несучою пластиною. Крім того, контролер може розрахувати товщину скла на основі значень відстані.

Ідеально підходить для промислового середовища

Надійні датчики і контролер в металевому корпусі роблять систему ідеально придатною для інтеграції у виробничі лінії. Контролер може бути встановлений в шафі управління за допомогою монтажу на DIN-рейку і забезпечує дуже стабільні результати вимірювань завдяки активній температурній компенсації і пасивному охолодженню. Ці компактні датчики надзвичайно компактні і можуть бути інтегровані в обмежений простір. Високогнучкі волоконно-оптичні кабелі доступні довжиною до 10 м і дозволяють просторове розділення датчика і контролера. Введення в експлуатацію та параметризація зручно виконуються через веб-інтерфейс і не потребують встановлення програмного забезпечення.

Anwit

Маленька світлова пляма для найменших деталей і конструкцій

Датчики генерують невелику світлову пляму по всьому діапазону вимірювання. Діаметр світлової плями складає всього 10 мкм і дозволяє виявляти дрібні деталі, такі як структури на напівпровідниках і мініатюрні електронні компоненти.

Anwit

Вимірювання декількох поверхонь

Інтерферометричний метод вимірювання дозволяє проводити вимірювання на багатьох поверхнях. Це дозволяє проводити високоточні вимірювання відстаней на відбиваючих металах, пластиках і склі.

Anwit

Датчики з кутом променя 90°

Завдяки компактним розмірам ці датчики можна інтегрувати навіть в обмеженому просторі. Зокрема, моделі з 90° променем потребують значно менше місця для встановлення.

Модель Діапазон вимірювань / Початок діапазону вимірювання Лінійність Кількість вимірюваних прошарків Сфери застосування

IMS5400-DS0,5/90/VAC

1,5 мм /приблизно 0,5 мм

± 50нм

-

Високоточне вимірювання відстані в умовах чистого приміщення і вакууму, наприклад, вимірювання на пластинах з покриттям.
Немагнітний титановий варіант UHV дозволяє використовувати в сильних магнітних полях, наприклад, в медичній техніці (ядерне обертання або електронно-променевий мікроскоп)

IMS5400-DS10/90/VAC

1,5 мм / 10 мм

± 50нм

-

Високоточне вимірювання відстані в умовах чистого приміщення і вакууму, наприклад, вимірювання на пластинах з покриттям.
Немагнітний титановий варіант UHV дозволяє використовувати в сильних магнітних полях, наприклад, в медичній техніці (ядерне обертання або електронно-променевий мікроскоп)

IMS5400-DS19

2,1 мм /приблизно 19 мм

± 50нм

-

Промислові вимірювання відстаней, наприклад, у прецизійному виробництві

IMS5400-DS19/VAC

2,1 мм /приблизно 19 мм

± 50нм

-

Точне позиціонування та вимірювання відстаней у чистих приміщеннях і вакуумі, наприклад, у виробництві дисплеїв для позиціонування масок

IMS5400MP-DS19

Вимірювання відстані:
2,1 мм / бл. 19 мм
Вимірювання товщини:
0,01 ... 1,3 мм (для BK7, n=1,5) / прибл. 19 мм

±50 нм для першої відстані
±150 нм на кожну наступну відстань

До 13 прошарків

Промислове вимірювання відстані та товщини, наприклад, у виробництві плоского скла

IMS5400MP-DS19/VAC

Вимірювання відстані:
2,1 мм / бл. 19 мм
Вимірювання товщини:
0,01 ... 1,3 мм (для BK7, n=1,5) / прибл. 19 мм

±50 нм для першої відстані
±150 нм на кожну наступну відстань

До 13 прошарків

Точне вимірювання відстаней і товщини в умовах чистого приміщення та вакууму, наприклад, у виробництві дисплеїв для вимірювання відстаней і зазорів

Документ Мова

Data sheet interferoMETER 5400-DS

English