Новий інтерферометр білого світла для нанометрового вимірювання товщини

Нові інтерферометри білого світла серії interferoMETER IMS5200-TH використовуються для нанометрових вимірювань товщини покриттів від 1 до 100 мікрометрів. З частотою вимірювання до 24 кГц нові інтерферометри білого світла призначені для динамічних вимірювальних завдань у виробництві напівпровідників – навіть у вакуумі – а також в процесах нанесення покриттів.

Новий інтерферометр білого світла interferoMETER IMS5200-TH призначений для швидких і високоточних вимірювань в потоці. Він вимірює товщину покриття від 1 до 100 мкм з нанометровою точністю і видатною лінійністю ± 100 нм. Крім того, можливе багатопікове вимірювання до п’яти тонких шарів. Частоту вимірювання можна плавно регулювати в діапазоні від 100 Гц до 24 кГц. Завдяки збереженому списку вибору матеріалу, він пропонує максимальну гнучкість у використанні. Окреме навчання роботі з матеріалом не потрібне.

IMS5200-TH може використовуватися для широкого спектру застосувань, від вимірювання повітряного зазору на скляних пластинах і масках до тестування процесів нанесення покриттів на картонну упаковку для напоїв і тестування товщини фарби в металургійній промисловості. Нова серія інтерферометрів від Micro-Epsilon особливо корисна для таких галузей, як виробництво напівпровідників, металургійна промисловість і пакувальна промисловість.

Датчик і контролер узгоджуються і калібруються на заводі, що дозволяє вимірювати повітряний зазор і товщину покриття з нанометровою точністю. Завдяки компактній і міцній конструкції датчика в поєднанні з великим робочим діапазоном ± 2 мм, датчик може бути легко інтегрований навіть в обмежені виробничі лінії. Контролер монтується в шафу керування за допомогою верхньої рейки.

Для безперешкодної інтеграції в сучасні мережі Micro-Epsilon пропонує Ethernet, EtherCAT і RS422, а також розширені можливості підключення енкодерів і цифрових входів/виходів. Завдяки універсальним інтерфейсам, виміряні значення можуть бути ефективно оброблені через існуючі аналогові виходи і гнучко інтегровані в існуючі системи автоматизації.

Завдяки класу захисту IP40 (контролер) і IP65 (датчик) та діапазону робочих температур від +10 до +50 °C, датчики адаптовані до промислових умов. Вони також можуть використовуватися в спеціальних умовах, таких як чисті приміщення та пилососи. Навіть при високих ударних або вібраційних навантаженнях інтерферометр забезпечує стабільно високі результати вимірювань. У порівнянні зі звичайними інтерферометрами, інтерферометри білого світла Micro-Epsilon легко вводяться в експлуатацію і параметризуються через веб-інтерфейс, що означає відсутність необхідності встановлення додаткового програмного забезпечення.

Переваги:

• Вимірювання товщини покриттів з нанометровою точністю від 1 мкм
• Стабільна і швидка швидкість вимірювання до 24 кГц До 5 покриттів одночасно